掃描電子顯微鏡，英文名稱(chēng)為SEM，是scanningelectronmicroscope的簡(jiǎn)寫(xiě)。掃描電子顯微鏡主要是利用二次電子信號成像來(lái)觀(guān)察樣品的表面形態(tài)，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過(guò)電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應，其中主要是樣品的二次電子發(fā)射。

　　隨著(zhù)電子技術(shù)和計算機技術(shù)的發(fā)展，不僅實(shí)現了數字化圖像，而且電鏡所有的功能都已經(jīng)實(shí)現了數字化控制?，F代掃描電鏡電器控制系統高度集成化，掃描電鏡結構越來(lái)越緊湊，自動(dòng)化功能越來(lái)越高，極大改善了人機操作環(huán)境。

　　掃描電子顯微鏡的工作原理：

　　掃描電鏡主要是利用二次電子成像，它工作原理是這樣的：從電子槍燈絲發(fā)出的直徑約20～35μm的電子束，受到陽(yáng)極1～40kV高壓的加速射向鏡筒，并受到*、二聚光鏡和物鏡的匯聚作用，縮小成直徑約幾十埃的狹窄電子束射到樣品上。與此同時(shí)，偏轉線(xiàn)圈使電子束在樣品上作光柵狀的掃描。電子束與樣品相互作用將產(chǎn)生多種信號，其中zui重要的是二次電子。由于控制鏡筒入射電子束的掃描線(xiàn)圈的電路同時(shí)也控制顯像管的電子束在屏上的掃描。用這種方法就如電視機屏上的像一樣，一點(diǎn)一點(diǎn)，一線(xiàn)一線(xiàn)地組成了像。圖像為立體形象，反映了標本的表面結構。為了使標本表面發(fā)射出次級電子，標本在固定、脫水后，要噴涂上一層重金屬微粒，重金屬在電子束的轟擊下發(fā)出次級電子信號。

　　掃描電子顯微鏡廣泛應用于生物、醫學(xué)、動(dòng)物、材料、化學(xué)等領(lǐng)域。